Турбомолекулярные насосы, в аббревиатуре (ТМН). Они позволяют полностью получать требуемый вакуум. Это может быть, как вариант среднего, высокого и сверхвысокого вакуума с наличием остаточных газов, соответственно молекулярная масса у которых будет меньше. Данный тип насосов представляет из себя многоступенчатый вариант осевого компрессора, с наличием роторных и статорных ступеней, именно которые снабжены особыми плоскими наклонными расположенными […]